涡轮分子泵组MLT-PT90系列是米立特公司新型的组合式分子泵,能产生5×10-8mbar以上的真空度,同时具有使用简单可靠的特点,被各地的用户广泛使用。它的主要特点如下:
• 前泵与分子泵合为一体,不需要再另接前泵。
• 前泵采用干式运行的隔膜泵,使整套设备免维护,干式运行,体积小,重量轻。
• 自动测量前泵产生的真空压力并自动启动分子泵,不需要附加装置和人为控制,前泵与分子泵的配合完全自动化。
• 配有给容器充气的充气开关。
• 当达到一定的真空压力后,可选择自动关闭前泵,以节省电源,增加设备的使用寿命。
• 采用自动空气冷却。
• 结构特别紧凑,性能可靠。
• 操作特别简单,只用一个总开关便可开关涡轮分子泵组。
技术参数:Description | MLT-PT90i/DIVAC 3.0 | MLT-PT90i/Ecodry 25 plus |
Turbomolecular pump | TURBOVAC 90i | TURBOVAC 90i |
Fore vacuum pump(Dry) | DIVAC3.0 | Ecodry 25 plus |
High vacuum connection | DN 63 ISO-K/CF | DN 63 ISO-K/CF |
Turbopump Operating speed | 7200rpm | 7200rpm |
Pumping speed for N2/H2 | 90I/s / 78I/s | 90I/s / 78I/s |
UItimate pressure | 63 ISO-K:<8×10-8mbar 63CF:<5×10-10mbar | 63 ISO-K:<8×10-8mbar 63CF:<5×10-10mbar |
Fore pumping speed | 3.0 m³/h | 25 m³/h |
Mains supply | 230±10% V | 230±10% V |
Number of gauges,max. | 2 | 2 |